ZUCCA R.R. et al. Wavelength Modulation Spectra of Some Semiconductor, Phys. Rev. B, v.1, 6 (1970), p.2668-2676. RU 2065148 C1, 10.08.1996. SU 1520404 A1, 07.11.1989. SU 1002919 A, 07.03.1983. US 6753961 B1, 22.06.22.
Имя заявителя:
Учреждение Российской академии наук Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения РАН (ИФП СО РАН) (RU)
Изобретатели:
Ковалев Александр Анатольевич (RU) Борисов Геннадий Михайлович (RU)
Патентообладатели:
Учреждение Российской академии наук Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения РАН (ИФП СО РАН) (RU)
Реферат
Изобретение относится к модуляционным способам спектральных измерений, в частности оптических постоянных, и предназначено для определения параметров поверхности и слоев тонких пленок, например, полупроводниковых гетероструктур. Посредством модуляционной спектроскопии с использованием р-компоненты линейно поляризованного излучения измеряют спектры угла 1, соответствующего минимуму зависимости коэффициента отражения светового излучения от угла падения, угла 2, соответствующего точке перегиба угловой зависимости коэффициента отражения. Модуляцию угла падения излучения на исследуемый образец осуществляют с амплитудой от 0,2 до 2 градусов, обеспечивающей отсутствие искажений 1 и 2, связанных с нелинейностью угловой зависимости коэффициента отражения, или пренебрежимо малое влияние нелинейности угловой зависимости коэффициента отражения. Частота модуляции от 5 до 200 Гц обеспечивает достаточно высокое отношение сигнал/шум для выделения из шума полезного сигнала для измерения характеристических углов при отсутствии искажений 1 и 2. Изобретение обеспечивает повышение точности измеряемых характеристик, что обеспечивает, в свою очередь, точность сведений о свойствах материала. 4 з.п. ф-лы, 5 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента