JP 10-138478 А, 26.05.1998. US 2007279456 А1, 06.12.2007. ЕР 1378363 А2, 07.01.2004. US 2008081387 А1, 03. 04.2008. JP 2001010047 А, 16.01.2001.
Имя заявителя:
КЭНОН КАБУСИКИ КАЙСЯ (JP)
Изобретатели:
КАТО Масатака (JP) ХАЯКАВА Казухиро (JP)
Патентообладатели:
КЭНОН КАБУСИКИ КАЙСЯ (JP)
Приоритетные данные:
17.06.2009 JP 2009-144149
Реферат
Способ изготовления подложки для головки для выпуска жидкости, содержащей кремниевую подложку и впускной канал, включает: создание кремниевой подложки, содержащей изолирующий слой на первой поверхности и слой маски с отверстиями для травления на другой поверхности подложки, причем изолирующий слой расположен в участке, продолжающемся из положения напротив отверстий до положения напротив участка между соседними отверстиями слоя маски; и образование отверстий посредством вытравливания части кремния кремниевой подложки, так что вытравленный участок достигает участка изолирующего слоя напротив отверстий. Кремниевую перегородку, расположенную между соседними отверстиями, подвергают травлению таким образом, что участок на ее первой поверхности может быть тоньше, чем участок на ее второй поверхности. Технический результат: повышение механической прочности изготовленной данным способом головки для выпуска жидкости и повышение эффективности повторного заполнения головки жидкостью. 4 з.п. ф-лы, 35 ил.