US 2003097800 A1, 29.05.2003. US 20040082278 A1, 29.04.2004. WO 2006115581 A2, 02.11.2006. CN 1469459 A, 21.01.2004. RU 2292372 C2, 29.03.2004. SU 1743114 A3, 15.07.1994.
Имя заявителя:
СЭНТ-ГОБЭН КЕРАМИКС ЭНД ПЛАСТИКС, ИНК. (US)
Изобретатели:
ТАНИКЕЛЛА Брахманандам В. (US) ЧИННАКАРУППАН Паланиаппан (US) РИЗЗУТО Роберт А. (US) ЧЕРИАН Исаак К. (US) ВЕДАНТАМ Рамануджам (US)
Патентообладатели:
СЭНТ-ГОБЭН КЕРАМИКС ЭНД ПЛАСТИКС, ИНК. (US)
Приоритетные данные:
28.12.2006 US 60/882,351
Реферат
Изобретение относится к способу механической обработки сапфировой подложки. Способ включает шлифование первой поверхности сапфировой подложки с использованием первого связанного абразива, шлифование второй поверхности сапфировой подложки, противоположной первой поверхности, и шлифование указанной первой поверхности сапфировой подложки с использованием второго связанного абразива, отличного от первого связанного абразива, причем второй связанный абразив имеет меньший средний размер зерна, чем первый связанный абразив, при этом в качестве второго связанного абразива используют абразив с автоправкой. Обеспечивается получение пластин с воспроизводимыми, имеющими высокую размерную точность геометрическими кристаллографическими параметрами. 14 з.п. ф-лы, 5 ил., 6 табл.
Поиск патентов
Получить полное описание патента