US 5091288 A, 25.02.1992. RU 2371808 C1, 27.10.2009. RU 2207660 C1, 27.06.2003. SU 1769635 A1, 20.01.2008. US 5304500 A, 19.04.1994.
Имя заявителя:
Российская Федерация, от имени которой выступает государственный заказчик Министерство промышленности и торговли Российской Федерации (RU)
Изобретатели:
Шелоболин Игорь Александрович (RU) Лисейкин Виктор Петрович (RU) Климанов Евгений Алексеевич (RU) Седнев Михаил Васильевич (RU) Микертумянц Артем Рубенович (RU)
Патентообладатели:
Российская Федерация, от имени которой выступает государственный заказчик Министерство промышленности и торговли Российской Федерации (RU)
Реферат
Изобретение относится к технологии получения индиевых столбиков взрывной технологией для микросборок интегральных схем и фотодиодных матриц. Сущность изобретения: в способе изготовления индиевых столбиков на пластину с металлическими контактами последовательно наносят первый слой фоторезиста, первый металлический слой, второй слой фоторезиста и второй металлический слой, затем проводят фотолитографическую обработку под In столбики с травлением второго металлического слоя, проводят экспонирование ультрафиолетовым излучением второго слоя фоторезиста и проявление для получения отрицательного угла до первого металлического слоя, осуществляют травление первого металлического слоя и первого слоя фоторезиста до верхней поверхности металлических контактов, на пластину напыляют пленку In, удаляют второй слой фоторезиста с металлической индиевой пленкой на нем, травят первый металлический слой и растворяют первый слой фоторезиста. Техническим результатом изобретения является создание экологически безопасной простой технологии. 12 ил.