RU 2370559 C1, 20.10.2009. SU 387015 A1, 01.01.1973. SU 113474 A1, 01.01.1958. US 2004055733 A1, 25.03.2004.
Имя заявителя:
Учреждение Российской академии наук Институт физики твердого тела РАН (ИФТТ РАН) (RU)
Изобретатели:
Сидоров Николай Сергеевич (RU) Штинов Евгений Дмитриевич (RU) Глебовский Вадим Георгиевич (RU)
Патентообладатели:
Учреждение Российской академии наук Институт физики твердого тела РАН (ИФТТ РАН) (RU)
Реферат
Изобретение относится к способу получения высокочистого титана для распыляемых мишеней. Способ включает очистку исходных прутков металлического титана, полученных йодидным способом, в реакторе. Причем очистку осуществляют в потоке осушенного от влаги хлора при температуре 500°С. Затем проводят вакуумную зонную перекристаллизацию прутков титана до получения поликристаллов титана высокой чистоты и электронную вакуумную плавку необходимого по массе количества поликристаллов титана высокой чистоты в плоском кристаллизаторе до получения плоского слитка, проплавленного с каждой его стороны на всю глубину. Техническим результатом является повышение чистоты титана, используемого для производства мишеней, используемых для тонкопленочной металлизации в микроэлектронике. 1 табл.
Поиск патентов
Получить полное описание патента