US 2007279456 A1, 06.12.2007. EP 1378363 A2, 07.01.2004. US 2005179744 A1, 18.08.2005. US 2007212891 A1, 13.09.2007. US 2004238485 A1, 02.12.2004. RU 2151066 C1, 20.06.2000.
Способ изготовления кремниевой подложки для выбрасывающей жидкость головки, имеющей первую поверхность, противоположную второй поверхности, содержит этапы: обеспечение слоя на второй поверхности кремниевой подложки, причем этот слой имеет более низкую скорость травления, чем кремний, при воздействии травителя кремния; частичное удаление слоя так, чтобы открыть часть второй поверхности кремниевой подложки, причем эта открытая часть окружает по меньшей мере одну часть слоя; и влажное травление упомянутых слоя и открытой части второй поверхности кремниевой подложки с использованием травителя кремния, чтобы сформировать канал подачи жидкости, простирающийся от второй поверхности до первой поверхности кремниевой подложки. Технический результат - упрощение формирования канала подачи чернил и сокращение времени изготовления подложки. 11 з.п. ф-лы, 1 табл., 22 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента