US 6137510 A, 24.10.2000. JP 10-138478 A, 26.05.1998. US 2007007860 A1, 11.01.2007. EP 1378363 A2, 07.01.2004. US 2008081387 A1, 03.04.2008. JP 2001010047 A, 16.01.2001.
Изобретение относится к способу изготовления кремниевой подложки головки для выброса жидкости, которая снабжена элементом генерации энергии для выброса жидкости и отверстием, проходящим через кремниевую подложку, для подачи жидкости к элементу генерации. Способ изготовления подложки включает в себя: формирование множества вогнутых участков на задней поверхности кремниевой подложки с ориентацией {100} плоскости, причем вогнутые участки ориентированы в сторону первой поверхности и выровнены в рядах в направлении <100> первой поверхности; и формирование множества отверстий для выброса жидкости посредством проведения осевого кристаллического анизотропного травления на кремниевой подложке через вогнутые участки с помощью травильной жидкости, скорость травления которой на плоскости {100} кремниевой подложки меньше скорости травления на плоскости {110} кремниевой подложки. Технический результат - повышение точности изготовления кремниевых участков между отверстиями по ширине. 2 н. и 4 з.п. ф-лы, 13 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента