ГОЛЬДБЕРГ Б.Г. и др. Изготовление LIGA-шаблонов для создания микрофлюидных аналитических систем. В.: "Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования", 2008, 8, с.1-4. RU 2350994 С1, 27.03.2009. RU 234454 С1, 20.01.2009. RU 28285 U1, 10.03.2003. US 2009214689 А1, 27.08.2009. WO 02067055 А2, 29.08.2008. ЕР 0020133 A1, 10.12.1980.
Имя заявителя:
Учреждение Российской академии наук Институт ядерной физики им. Г.И. Будкера Сибирского отделения РАН (ИЯФ СО РАН) (RU)
Изобретатели:
Гольденберг Борис Григорьевич (RU)
Патентообладатели:
Учреждение Российской академии наук Институт ядерной физики им. Г.И. Будкера Сибирского отделения РАН (ИЯФ СО РАН) (RU)
Реферат
Изобретение относится к рентгенолитографии, а именно к устройству «рисования» топологических рисунков, пространственно сформированным пучком экспонирующего рентгеновского излучения. С целью повышения точности формирования топологии резистивной маски при помощи рентгенолучевого генератора изображения содержащего, в общем случае, источник экспонирующего рентгеновского излучения; оперативную рентгенонепрозрачную заслонку-прерыватель для управления пучком экспонирующего рентгеновского излучения; координатный стол, на котором располагается обрабатываемая подложка, и блок диафрагм, задающий размеры «светового пятна», предлагается блок диафрагм, изготовленный в виде двух рентгеновских шаблонов с ренгенопрозрачными отверстиями круглой или щелевой формы, размеры которых выполнены с определенным заданным шагом. Такой подход позволяет оперативно сформировать топологию резистивной маски в толстом слое рентгенорезиста с субмикронной точностью, что является техническим результатом изобретения. 1 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента