US 2004174596 A1, 09.09.2004. RU 2240280 C1, 20.11.2004. RU 2204179 C1, 10.05.2003. RU 2141699 C1, 20.11.1999. US 2004070829 A1, 15.04.2004.
Имя заявителя:
УОСТЕК, ИНК. (US)
Изобретатели:
Смирнов Валерий К. (RU) Кибалов Дмитрий С. (RU)
Патентообладатели:
УОСТЕК, ИНК. (US)
Приоритетные данные:
01.06.2005 US 60/686,495 31.05.2006 US 11/421,384
Реферат
Поляризатор изготавливается способом, содержащим осаждение слоя металла поверх прозрачной подложки и первого материала с образованием поверхностного слоя поверх слоя металла; вызывание по существу однородного напряжения, ориентированного в первом направлении, в поверхностном слое, облучение поверхностного слоя потоком ионов до образования твердой наномаски, содержащей по существу периодический массив по существу параллельных удлиненных элементов, имеющих волнообразное поперечное сечение. По меньшей мере, некоторые из этих элементов имеют следующую структуру в поперечном сечении: внутренняя область из первого материала и первая внешняя область из второго материала, покрывающая первую часть внутренней области, при этом второй материал образован за счет модификации первого материала потоком ионов. Далее осуществляют травление через поверхностный слой и через слой металла вплоть до поверхности оптически прозрачной подложки при использовании наномаски для переноса рисунка удлиненных элементов в слой металла и удаление частей поверхностного слоя, остающихся после травления, со слоя металла. Технический результат - разработки эффективных способов формирования больших массивов нанопроводников с периодом 150 нм или менее. 4 н. и 38 з.п. ф-лы, 10 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента