ABRAHA P. et al. Surface modification of steel surface by electron beam exited. Vacuum, 83, апрель 2008, pp.497-500. RU 2241782 C1, 10.12.2004. RU 2329334 C2, 20.07.2008. RU 70893 U1, 20.02.2008. JP 2002-356764 A, 13.12.2002. GB 2261227 A, 12.05.1993.
Имя заявителя:
Государственное учреждение Институт электрофизики Уральского отделения Российской академии наук (RU)
Изобретатели:
Гаврилов Николай Васильевич (RU) Мамаев Александр Сергеевич (RU)
Патентообладатели:
Государственное учреждение Институт электрофизики Уральского отделения Российской академии наук (RU)
Реферат
Изобретение относится к способу упрочняющей обработки деталей механизмов и машин, штампового и режущего инструмента. Способ включает помещение изделия в плазменную камеру, подачу в разрядный; промежуток между катодом и анодом под низким давлением 0,01-1 Па азота или газовой смеси, состоящей из смеси азота и, по крайней мере, одного из следующих газов: аргона, неона, гелия или водорода, прикладывание напряжения между катодом и анодом с мелкоструктурной сеткой и зажигание дугового или тлеющего низковольтного разряда с холодным катодом, создающего плазменный эмиттер электронов в области мелкоструктурной сетки. Затем между анодом и заземленными стенками плазменной камеры подают отрицательное напряжение 0,1-1 кВ, проводят ионную очистку поверхности изделия от оксидных пленок путем подачи на изделие отрицательного напряжения смещения 100-500 В относительно стенок плазменной камеры. Осуществляют нагрев изделия до рабочих температур, обеспечивающих диффузию атомов азота в объем изделия, путем повышения напряжения между анодом и заземленными стенками плазменной камеры и тока разряда между анодом и катодом и проводят диффузию атомов азота в объем изделия при значениях отрицательного напряжения смещения на изделии 0-150 В относительно заземленных стенок плазменной камеры или при плавающем потенциале изделия. Обеспечивается увеличение поверхностной твердости изделия, отсутствие деформации изделия после обработки, повышение предела выносливости и увеличение износостойкости обработанного изделия. 4 ил.