RU 2173297 С2, 10.09.2001. RU 2077483 С1, 20.04.1997. RU 2226501 С1, 10.04.2004. US 4499063 А1, 12.02.1985. Большой энциклопедический словарь. Политехнический. /Под ред. А.Ю.Ишлинского. - М.: Научное издательство «Большая Российская энциклопедия», 2000, с.12.
Имя заявителя:
Кварацхели Юрий Константинович (RU)
Изобретатели:
Кварацхели Юрий Константинович (RU) Кондратьев Александр Георгиевич (RU) Шаталов Валентин Васильевич (RU) Демин Юрий Викторович (RU) Фадеев Леонид Леонидович (RU) Хорозова Ольга Дмитриевна (RU)
Патентообладатели:
Кварацхели Юрий Константинович (RU)
Реферат
Изобретение может быть использовано в производстве полупроводников, микроэлектронике и солнечной энергетике. Способ получения моносилана включает взаимодействие гидрида кальция с газообразным тетрафторидом кремния в эвтектическом расплаве хлоридов лития и калия при 360-390°С и очистку моносилана на гранулированном фториде натрия, цеолите и угле. Устройство для непрерывного получения моносилана включает обогреваемый реактор 19 с расплавом хлоридов калия и лития 12, приспособления для ввода газообразного тетрафторида кремния в расплав 1 и вывода моносилана из зоны реакции 11. Для поддержания концентрации гидрида кальция в расплаве 12 на уровне насыщения над реактором 19 установлена обогреваемая герметичная емкость 18 с запасом гидрида кальция, снабженная внизу патрубком, заканчивающимся сетчатым стаканом 13. Граница между патрубком и сетчатым стаканом 13 находится ниже уровня расплава 12 в реакторе 19. Для поддержания уровня расплава 12 в реакторе 19 над ним установлена герметичная емкость 17 с запасом расплава, снабженная патрубком, нижний конец которого опущен в емкость 18 с запасом гидрида на заданный уровень. Для выгрузки фторида кальция в нижней части реактора установлен отстойник 20, который снабжен двумя клапанами или задвижками, связанными между собой так, что при открывании верхнего закрывается нижний и наоборот, 2 н. и 3 з.п. ф-лы, 2 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента