ЗАПОРОЖСКИЙ В.П., ЛАПШИНОВ Б.А. Обработка полупроводниковых материалов. - М.: Высшая школа. 1988, с.34-62. НИКИФОРОВА-ДЕНИСОВА С.Н. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Книга 4, Механическая и химическая обработка. - М.: Высшая школа. 1989, с.3-24. SU 1766685 А1, 07.10.1992. SU 1622141 А1, 23.01.1991. SU 1314401 А1, 30.05.1987. WO 02/34973 А1, 02.05.2002.
Имя заявителя:
Учреждение Российской академии наук Институт кристаллографии имени А.В. Шубникова РАН (RU)
Изобретатели:
Каневский Владимир Михайлович (RU) Дерябин Александр Николаевич (RU) Денисов Александр Викторович (RU) Тихонов Евгений Олегович (RU)
Патентообладатели:
Учреждение Российской академии наук Институт кристаллографии имени А.В. Шубникова РАН (RU)
Реферат
Изобретение относится к способам разделения монокристаллов на пластины, которые в дальнейшем применяются для изготовления подложек, используемых в производстве различных оптоэлектронных элементов и устройств. Сущность изобретения: в способе доводки ориентации пластин полупроводниковых и оптических материалов в процессе резки монокристаллов на пластины алмазными кругами с внутренней режущей кромкой планшайба, закрепляемая на шпинделе привода вращения кристалла, выполнена сборной с возможностью плавного поворота вокруг оси в двух взаимно перпендикулярных направлениях с фиксацией, что позволяет проводить резку монокристаллических цилиндров на пластины с точностью до 1 угловой минуты. Способ предназначен для удобной плавной доводки ориентации резаных пластин с точностью до 1 угловой минуты при разрезании кристаллографически ориентированных цилиндров на пластины алмазными кругами с внутренней режущей кромкой с вращением цилиндров вокруг своей оси в процессе резки. 2 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента