US 5211931 А, 18.05.1993. SU 432792 А1, 05.11.1974. US 4554141 А, 19.11.1985. US 5206004 А, 27.04.1993. WO 0076626 А1, 21.12.2000. JP 58-120511 А, 18.07.1983.
Имя заявителя:
Федеральное государственное унитарное предприятие "Государственный ордена Трудового Красного Знамени научно-исследовательский институт химии и технологии элементоорганических соединений" (ФГУП ГНИИХТЭОС) (RU), Фирма КСС Корпорейшин Республика Корея (KR)
Изобретатели:
Стороженко Павел Аркадьевич (RU) Шутова Ольга Григорьевна (RU) Ендовин Юрий Петрович (RU) Белякова Зоя Васильевна (RU) Поливанов Александр Николаевич (RU) КАНГ Гёнг Хун (KR)
Патентообладатели:
Федеральное государственное унитарное предприятие "Государственный ордена Трудового Красного Знамени научно-исследовательский институт химии и технологии элементоорганических соединений" (ФГУП ГНИИХТЭОС) (RU) Фирма КСС Корпорейшин Республика Корея (KR)
Реферат
Изобретение может быть использовано в производстве поли- и монокристаллического кремния высокой чистоты. Моносилан подвергают ректификации для удаления углеводородов, кипящих выше моносилана. Затем очищают моносилан от этилена на активном оксиде алюминия или на модифицированном платиной, палладием, рутением, титаном или цирконием оксиде алюминия, после чего моносилан подвергают ректификации для удаления углеводородов, кипящих ниже этилсилана. Очищенный моносилан пропускают через наноразмерный полидисперсный порошок кремнийорганического сорбента, содержащий 47-54 мас.% двуокиси кремния и 52-45 мас.% углерода, имеющий насыпную плотность не более 0,2 г/см2 и суммарный объем пор не менее 0,95 см3/г. Поглотительная способность сорбента имеет значения по углеводородам от 4,0 до 10 кг/кг. Изобретение позволяет получать моносилан с содержанием этилена, этилсилана менее 10 ppb и фосфина, арсина менее 0,02 ppb. 1 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента