RU 2146724 C1, 20.03.2000. RU 1783856 C, 20.03.1995. ЕР 0279550 А1, 24.08.1988. DE 3913716 A, 31.10.1990. GB 2218113 A, 08.11.1989.
Имя заявителя:
Государственное образовательное учреждение Высшего профессионального образования "Томский государственный университет" (RU)
Изобретатели:
Савостиков Виктор Михайлович (RU) Потекаев Александр Иванович (RU) Кузьмиченко Владимир Михайлович (RU)
Патентообладатели:
Государственное образовательное учреждение Высшего профессионального образования "Томский государственный университет" (RU)
Реферат
Изобретение относится к области машиностроения, в частности к способу нанесения покрытий в вакууме на изделия из электропроводных материалов или диэлектриков. Способ включает очистку и активацию поверхности изделий перед нанесением покрытия газовыми ионами, получаемыми в плазмогенераторе на основе несамостоятельного дугового разряда с накаленным катодом, электродуговое распыление катодной мишени и осаждение получаемого потока на изделия в атмосфере газа, предварительно ионизированного в плазмогенераторе на основе несамостоятельного дугового разряда с накаленным катодом. После очистки и активации на поверхность изделий осаждают связующий подслой магнетронным распылением катодной мишени из материала задаваемого компонентного состава. Затем формируют промежуточный переходной слой одновременным магнетронным и электродуговым распылением катодных мишеней и осаждением получаемого смешанного потока на связующий подслой в атмосфере газа, предварительно ионизированного в плазмогенераторе, при постепенном снижении тока магнетронного разряда до ноля. В результате обеспечивают получение изделия с покрытием, обладающего улучшенной работоспособностью в жестких условиях эксплуатации. 1 з.п. ф-лы.
Поиск патентов
Получить полное описание патента