RU 2357319 C1, 27.05.2009. RU 2018190 C1, 15.08.1994. SU 1029270 A, 15.07.1983. SU 1318618 A1, 23.06.1986. FR 2248764 A, 16.05.1975. US 4653636 A, 31.03.1987. EP 0100539 A2, 15.02.1984.
Имя заявителя:
Взнуздаев Евгений Александрович (RU), Ершова Елена Федоровна (RU), Зырянова Светлана Григорьевна (RU), Колесников Вячеслав Алексеевич (RU), Корнеева Галина Ильинична (RU), Корнеева Ольга Николаевна (RU), Кислякова Марина Александровна (RU), Липина Татьяна Владимировна (RU)
Изобретатели:
Взнуздаев Евгений Александрович (RU) Ершова Елена Федоровна (RU) Зырянова Светлана Григорьевна (RU) Колесников Вячеслав Алексеевич (RU) Корнеева Галина Ильинична (RU) Корнеева Ольга Николаевна (RU) Кислякова Марина Александровна (RU) Липина Татьяна Владимировна (RU)
Патентообладатели:
Взнуздаев Евгений Александрович (RU) Ершова Елена Федоровна (RU) Зырянова Светлана Григорьевна (RU) Колесников Вячеслав Алексеевич (RU) Корнеева Галина Ильинична (RU) Корнеева Ольга Николаевна (RU) Кислякова Марина Александровна (RU) Липина Татьяна Владимировна (RU)
Реферат
Изобретение относится к устройствам, предназначенным для удержания полупроводниковых пластин во время диффузионной термообработки при изготовлении полупроводниковых приборов. Сущность изобретения: кассета для групповой диффузионной обработки полупроводниковых пластин выполнена из трех поликремниевых стержней, два боковых стержня размещены по бокам обрабатываемых в кассете пластин и один нижний стержень, выполняющий роль дна кассеты, размещен внизу обрабатываемых в кассете пластин, боковые стержни размещены так, что их продольные оси и центры обрабатываемых в кассете пластин находятся в одной плоскости, пазы в стержнях совмещены таким образом, что обеспечивают размещение каждой обрабатываемой пластины в вертикальной плоскости, перпендикулярной продольным осям стержней, пазы в обоих боковых стержнях имеют в сечении П-образную форму, при этом ширина боковых пазов больше толщины обрабатываемой пластины на 50-90%, глубина боковых пазов составляет 2-4,5 ширины боковых пазов, при этом пазы в нижнем стержне для размещения обрабатываемых пластин имеют в сечении форму полукруга с радиусом, составляющим 0,8-1,1 толщины обрабатываемой пластины. Изобретение позволяет исключить потери пластин на операции диффузионной термообработки за счет исключения залипания пластин в пазах при одновременной надежной фиксации их в боковых стержнях.
Поиск патентов
Получить полное описание патента