ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО ЦЕНТРАЛЬНЫЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ "ЦИКЛОН" (RU)
Реферат
Изобретение относится к области гальванопластики и может быть использовано в микроэлектронике при изготовлении магнитных и немагнитных масок для напыления тонких слоев органики, металлов и диэлектриков органических светоизлучающих диодов. Способ включает изготовление на электроизолирующем основании с токопроводящим слоем фотолитографическим методом матрицы с отверстиями с расчетным предыскажением, наращивание гальванопластическим методом изделия, отделение изделия от матрицы, при этом при изготовлении матрицы отверстия, наибольший поперечный размер которых больше или равен 100-кратной величине расчетных предыскажений изделия, выполняют со вставками, контур которых подобен контуру отверстия, прикрепленными к краям отверстия матрицы перемычками с равномерным зазором по периметру отверстия матрицы, равным 3-4 величинам расчетных предыскажений, а при наращивании на матрице изделия отверстия в изделии выполняют с металлическими вставками, прикрепленными к краям отверстия изделия металлическими перемычками с равномерным зазором по периметру отверстия изделия, при этом после окончания наращивания изделия и отделения его от матрицы вставки с перемычками из отверстий изделия удаляют. Техническим результатом изобретения является уменьшение размеров предыскажений для отверстий изделий с большим периметром и повышение точности изготовления металлических тонкостенных изделий. 1 з.п. ф-лы, 5 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента