US 4473437 А, 25.09.1984. US 6418941 B1, 16.07.2002. RU 2004127923 A, 10.06.2005. RU 2024991 C1, 15.12.1994. SU 1829751 A1, 27.08.1996. JP 2007306434 A, 22.11.2007.
Имя заявителя:
Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт "Элпа" с опытным производством" (ОАО "НИИ "Элпа") (RU)
Изобретатели:
Нерсесов Сергей Суренович (RU) Голубский Александр Алексеевич (RU) Горнев Евгений Сергеевич (RU) Трусов Анатолий Аркадьевич (RU)
Патентообладатели:
Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт "Элпа" с опытным производством" (ОАО "НИИ "Элпа") (RU)
Реферат
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в технологии изготовления интегральных пьезоэлектрических устройств - фильтров, резонаторов, линий задержки на поверхностных акустических волнах. Способ включает операции вакуумирования и обработки подложек в кислородсодержащей плазме. Подложки обрабатывают в плазме смеси кислорода и инертного газа, содержащей 5-12 об.% кислорода и 88-95 об.% инертного газа, при этом в качестве инертного газа используют гелий или неон, или аргон и обработку ведут при давлении в реакционной камере 80-140 Па, плотности ВЧ-мощности 0,02-0,06 Вт/см3 и времени воздействия 3-15 мин. Изобретение позволяет улучшить электрофизические параметры пьезоэлектрических устройств за счет более полного удаления органических остатков с пьезоэлектрических подложек после различных технологических операций.
Поиск патентов
Получить полное описание патента