RU 2261288 C2, 27.09.2005. RU 2006141645 A, 27.05.2008. RU 2081727 C1, 20.06.1997. JP 03-173704 A, 29.07.1991. EP 1066899 A2, 20.01.2001.
Имя заявителя:
Общество с ограниченной ответственностью "Комметпром" (ООО "Комметпром") (RU)
Изобретатели:
Береснев Александр Германович (RU) Логунов Александр Вячеславович (RU) Логачева Алла Игоревна (RU) Таран Павел Владимирович (RU) Вилкин Сергей Борисович (RU) Кравцов Станислав Григорьевич (RU) Гаранин Сергей Владимирович (RU)
Патентообладатели:
Общество с ограниченной ответственностью "Комметпром" (ООО "Комметпром") (RU)
Реферат
Изобретение относится к способам изготовления катодных мишеней, используемых, в частности, при получении жаростойких покрытий для защиты жаропрочных сплавов на основе никеля или кобальта, устанавливаемых в установках для распыления. Способ включает получение заготовки катодной мишени с заданным химическим составом и ее механическую обработку для придания требуемых геометрических размеров. При этом для получения заготовки мишени расплавленный металл заливают в керамическую форму с получением слитка-электрода цилиндрической формы. Затем слиток расплавляют плазмой при вращении с получением сферических гранул диаметром 50-400 мкм. Расчетное количество сферических гранул засыпают в вакууме в капсулу кольцевой формы для образования мишени с полостью. Капсулу заваривают и подвергают горячему изостатическому прессованию, после чего производят разгерметизацию капсулы и осуществляют механическую очистку заготовки путем снятия с нее составных частей капсулы. Катодную мишень выполняют из сплава на основе никеля или на основе кобальта. Технический результат - получение стабильных геометрических размеров заготовки мишени. 2 н. и 10 з.п. ф-лы, 1 табл.
Поиск патентов
Получить полное описание патента