RU 54375 U1, 27.06.2006. RU 2265078 C1, 27.11.2005. RU 2270881 C2, 27.02.2006. RU 2026416 C1, 09.01.1995. US 4036171 A, 19.07.1977. US 4122221 A, 24.10.1978. ШИЛЛЕР З. и др. Электронно-лучевая технология. - М.: Энергия, 1980, с.171-177.
Имя заявителя:
Закрытое акционерное общество "Специальное Конструкторско-Технологическое Бюро КАСКАД" (ЗАО "СКТБ КАСКАД") (RU)
Изобретатели:
Юркевич Игорь Николаевич (UA) Кошелевский Виктор Фадеевич (UA) Мисожников Лев Викторович (RU) Гевал Юрий Николаевич (RU)
Патентообладатели:
Закрытое акционерное общество "Специальное Конструкторско-Технологическое Бюро КАСКАД" (ЗАО "СКТБ КАСКАД") (RU)
Реферат
Изобретение относится к установке для нанесения покрытий в вакууме и может быть применено для вакуумного нанесения покрытий на рулонные материалы при производстве электродной фольги для алюминиевых оксидно-электролитических конденсаторов, суперконденсаторов, аккумуляторов и подобных изделий. Установка включает камеру напыления с системой испарения с механизмом подачи испаряемого материала, камеру пушек с, по меньшей мере, двумя электронно-лучевыми пушками, систему перемотки, систему откачки, систему газонатекания, пневмосистему, систему охлаждения, систему электропитания и управления и устройство перемещения, на котором с возможностью стыковки-расстыковки с камерой напыления расположена система перемотки. Система испарения содержит, по меньшей мере, два испарителя с двумя механизмами подачи испаряемого материала в виде слитка и, по меньшей мере, четырьмя механизмами подачи испаряемого материала в виде проволоки, и комбинированную систему электромагнитного отклонения лучей. Система испарения выполнена с возможностью одновременной подачи и испарения из одного испарителя одновременно до трех различных испаряемых материалов с различными температурами плавления. Установка позволяет получить покрытия с равномерными электрофизическими характеристиками и получить многокомпонентные покрытия. 3 з.п. ф-лы, 7 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента