

	Главная Патентный отдел Технологии Справочник ГРНТИ Прием Наши координаты Обратная связь

Поиск патентов

Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

Патентный отдел

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

СПОСОБ ВЫЯВЛЕНИЯ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ ДЕФЕКТОВ ДИСЛОКАЦИЙ

Номер публикации патента: 2403648

Вид документа:	C1
Страна публикации:	RU
Рег. номер заявки:	2009117625/28

Получить полное описание патента

Редакция МПК:	6
Основные коды МПК:	H01L021/66
Аналоги изобретения:	Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств. Справочник. - М.: Радио и связь, 1991, с.128. Курносов А.И. Материалы для полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. - М.: Высшая школа, 1980, с.86-87. RU 2151445 С1, 20.06.2000. RU 2110116 C1, 27.04.1998. RU 1639341 С, 15.06.1994. SU 369651 А, 17.04.1973. US 6600557 В1, 29.07.2003. ЕР 0796933 А2, 24.09.1997.

Имя заявителя:	ГОСУДАРСТВЕННОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ "ДАГЕСТАНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ" (ДГТУ) (RU)
Изобретатели:	Исмаилов Тагир Абдурашидович (RU) Шангереева Бийке Алиевна (RU) Шахмаева Айшат Расуловна (RU)
Патентообладатели:	ГОСУДАРСТВЕННОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ "ДАГЕСТАНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ" (ДГТУ) (RU)

Реферат

Изобретение относится к процессам обработки поверхности кремниевых пластин для выявления эпитаксиальных дефектов дислокаций. Сущность изобретения: способ выявления эпитаксиальных дефектов дислокаций включает травление поверхности кремниевых пластин в селективном травителе, состоящем из следующих компонентов: азотной кислоты (HNO₃), плавиковой кислоты (HF) и уксусной кислоты (СН₃СООН), в соотношении 5:1:15, при температуре 293 К и времени травления 145±5 минут, при этом количество светящихся точек составляет 5 шт., а суммарное количество дефектов дислокаций 550±50 шт./см². Изобретение обеспечивает получение ровной и ненарушенной поверхности кремниевых пластин, а также уменьшение длительности процесса.

Вернуться к списку

Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь

Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"