US 2007077191 A1, 05.04.2007. RU 2154606 C2, 20.08.2000. JP 1176211 A, 12.07.1989. EP 0459421 A1, 04.12.1991. US 4097584 A, 27.06.1978. EP 0274283 A1, 13.07.1988.
Имя заявителя:
Кравцов Анатолий Александрович (RU)
Изобретатели:
Кравцов Анатолий Александрович (RU)
Патентообладатели:
Кравцов Анатолий Александрович (RU)
Реферат
Группа изобретений относится к производству кремния. Способ вакуумной очистки кремния включает загрузку очищаемого кремния в тигель, расплавление его с использованием электронно-лучевого нагрева под вакуумом, выдержку расплава в тигле для испарения примесей и его кристаллизацию с получением очищенного кремния. При этом выдержку расплава осуществляют при интенсивном нагреве центральной части поверхности расплава и отводе тепла от верхней части стенки тигля на уровне поверхности расплава и от центральной части днища тигля. Отвод тепла от верхней части стенки тигля осуществляют с большей интенсивностью по сравнению с отводом тепла от центральной части днища тигля. Кристаллизацию расплава ведут с отводом тепла только от днища тигля при равномерном снижении интенсивности нагрева поверхности расплава. Устройство содержит вакуумную камеру, тигель с кремнием, электронно-лучевую пушку, холодильник, установленный на наружной поверхности стенки тигля в его верхней части. Оно содержит также охлаждаемую емкость, в которой соосно размещен тигель, теплоизолятор, расположенный между тиглем и охлаждаемой емкостью, и теплопроводный элемент, расположенный между охлаждаемой емкостью и днищем тигля по их продольной оси. Техническим результатом является повышение скорости очистки кремния и его чистоты, а также сокращение времени очистки и снижение энергетических и материальных затрат. 2 н. и 2 з.п. ф-лы, 2 ил., 1 табл.
Поиск патентов
Получить полное описание патента