WO 2005047558 А2, 26.05.2005. US 2005/0156302 A1, 21.07.2005. US 6110808 A, 29.08.2000. RU 2137249 C1, 10.09.1999.
Имя заявителя:
САЕС ГЕТТЕРС С.П.А. (IT)
Изобретатели:
РИЦЦИ Энеа (IT)
Патентообладатели:
САЕС ГЕТТЕРС С.П.А. (IT)
Приоритетные данные:
06.12.2005 IT MI2005A002343
Реферат
Изобретение относится к изготовлению микромеханических устройств. Сущность изобретения: в способе изготовления микромеханических устройств их формируют соединением вместе двух частей при помощи прямого соединения; при этом одна из частей (12) выполнена из кремния, а другая - из материала, выбранного из группы, состоящей из кремния и полупроводникового керамического или окисного материала; причем соединение между двумя частями образует полость (14), содержащую функциональные элементы устройства (11), возможные вспомогательные элементы и покрытие (13) из газопоглотительного материала. Изобретение обеспечивает получение микромеханических устройств, в которых предотвращено отсоединение находящихся на кремниевых подложках покрытий из газопоглотительного материала при выполнении способа прямого соединения. 14 з.п. ф-лы, 2 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента