RU 2167743 С2, 27.05.2001. RU 2238174 C1, 20.10.2004. WO 0243905 A2, 06.06.2002. ХОРОШИХ В.М. Эрозия катода и расход массы катодного материала в стационарной дуге низкого давления. ФИЛ, 2005, т.2, 4, с.184-199.
Имя заявителя:
ИНСТИТУТ ПРОБЛЕМ МАШИНОВЕДЕНИЯ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК (RU)
Изобретатели:
Лисенков Александр Аркадьевич (RU) Барченко Владимир Тимофеевич (RU) Гончаров Вадим Дмитриевич (RU) Гончаров Сергей Вадимович (RU) Скачек Ирина Геннадьевна (RU)
Патентообладатели:
ИНСТИТУТ ПРОБЛЕМ МАШИНОВЕДЕНИЯ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК (RU)
Реферат
Изобретение относится к области получения порошков и может быть использовано для получения мелкодисперснных порошков заданных размеров. В предложенном способе создают вакуумно-дуговой разряд с использованием катода из металла получаемого порошка. Расплавляют металл катода в катодном пятне вакуумно-дугового разряда. Испаряют металл из катодного пятна и конденсируют испаренный металл на массивную охлаждаемую подложку. При этом испарение металла осуществляют при температуре катода, соответствующей границе перехода вакуумно-дугового разряда с интегрально-холодным катодом в дуговой разряд с горячим катодом. А температуру катодного пятна обеспечивают путем модуляции тока разряда импульсным источником питания, подключенным к катоду, имеющим индуктивную развязку с основным источником питания дуги. Обеспечивается получение качественного без наличия оксидной пленки порошка заданного размера. 1 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента