US 6130507 А, 10.10.2000. US 6002208 А, 14.12.1999. US 5350920 А, 27.09.1994. RU 2030807 С1, 10.03.1995.
Имя заявителя:
Учреждение РАН Физико-технологический институт РАН (RU)
Изобретатели:
Маишев Юрий Петрович (RU) Шевчук Сергей Леонидович (RU) Терентьев Юрий Петрович (RU) Кудря Владимир Петрович (RU)
Патентообладатели:
Учреждение РАН Физико-технологический институт РАН (RU)
Реферат
Изобретение относится к технике получения пучков быстрых нейтральных частиц, в частности пучков нейтральных атомов, радикалов и молекул, и может быть использовано для распыления, травления и осаждения тонких пленок различных материалов. Источник быстрых нейтральных частиц имеет базовую конструкцию, которая содержит ионный источник с холодным катодом и замкнутым дрейфом электронов и нейтрализатор, выполненный в виде внешних и внутренних коаксиальных поверхностей, образующих в совокупности щелевой канал определенной длины, сопряженный с замкнутой выходной щелью источника. Технический результат - увеличение степени нейтрализации выходного пучка и его интенсивности. 12 з.п. ф-лы, 19 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента