RU 2310896 C2, 20.11.2007. RU 2231812 C2, 27.06.2004. JP 1214089 A, 28.08.1989. US 5138604 A, 11.08.1992.
Имя заявителя:
Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Исток" (ФГУП НПП "Исток") (RU)
Изобретатели:
Пономарева Зинаида Ивановна (RU) Кондрашенков Юрий Александрович (RU) Котюргин Евгений Алексеевич (RU) Онуфриева Елена Владимировна (RU) Никонова Ирина Александровна (RU)
Патентообладатели:
Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Исток" (ФГУП НПП "Исток") (RU)
Реферат
Предлагается способ изготовления дифракционной решетки, заключающийся в формировании на предварительно обработанной в обезжиривающем растворе поверхности исходной пластины элементов заданной структуры дифракционной решетки посредством прямой последовательности операций метода фотолитографии и технологических режимов их проведения и последующей фиксации заданной структуры на носителе. При этом исходная пластина выполнена из сплава молибден-рений толщиной не более 0,035 мкм, после предварительной обработки поверхности исходной пластины в обезжиривающем растворе ее дополнительно обрабатывают в растворе состава, вес.%: азотная кислота 35-40, перекись водорода 30-35, хлорид железа (III) 10-15, вода остальное, при комнатной температуре в течение 0,1-0,2 минут с последующим отжигом в атмосфере водорода при температуре 980-1000°С в течение 25-30 минут в оправке, выполненной из молибдена. Формирование элементов заданной структуры дифракционной решетки посредством прямой последовательности операций метода фотолитографии осуществляют при иных заявленных технологических режимах упомянутых операций. Технический результат - повышение механической прочности, точности, воспроизводимости элементов заданной структуры и выхода годных. 1 табл., 1 ил.