RU 54375111, 27.06.2006. RU 2265078 C1, 27.11.2005. RU 2270881 C2, 27.02.2006. RU 2026416 C1, 09.01.1995. ШИЛЛЕР З. и др. Электронно-лучевая технология. - М.: Энергия, 1980, с.171-177.
Имя заявителя:
Мисожников Лев Викторович (RU)
Изобретатели:
Мисожников Лев Викторович (RU) Юркевич Игорь Николаевич (UA) Кошелевский Виктор Фадеевич (UA) Гевал Юрий Николаевич (RU)
Патентообладатели:
Мисожников Лев Викторович (RU)
Реферат
Изобретение относится к установке для нанесения покрытий в вакууме на рулонные материалы и может быть использовано в различных областях, например, при производстве электронных компонентов, магнитных носителей записывающих устройств, декоративных покрытий. Установка включает камеру напыления, камеру пушек, систему откачки воздуха, систему газонатекания, систему охлаждения, пневмосистему, систему электропитания и управления, устройство перемещения. Устройство перемещения выполнено с возможностью стыковки- расстыковки с камерой напыления. На устройстве перемещения расположены система подъема-опускания рулона обрабатываемого материала, а также система перемотки с механизмами намотки и размотки, охлаждаемыми и неохлаждаемыми роликами. Камера напыления оснащена, по меньшей мере, одним испарителем, защитными экранами, механизмами подачи испаряемого материала в виде слитка и в виде проволоки. При этом в непосредственной близости от испарителя и в камере пушек установлена система электромагнитного отклонения лучей. Установка позволяет равномерно наносить испаряемый материала в течение длительного и непрерывного процесса работы при увеличении коэффициента использования испаряемого материала. 3 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента