RU 2235071 C2, 27.08.2004. RU 2074533 C1, 27.02.1997. EP 0910231 A2, 21.04.1999. US 6536240 B1, 25.03.2003. US 4162908 A, 31.07.1979.
Имя заявителя:
СИЛИКА ТЕК, ЭлЭлСи (US)
Изобретатели:
ГУСКОВ Михаил И. (RU) АСЛАМИ Мохд А. (US) ВУ Дау (US)
Патентообладатели:
СИЛИКА ТЕК, ЭлЭлСи (US)
Приоритетные данные:
29.12.2005 US 60/754,281 28.12.2006 US 11/646,362
Реферат
Изобретение относится к способам получения трубок, прутков для применений оптического волокна и заготовок для ультрафиолетпропускающих оптических компонентов из диоксида кремния методом плазменного напыления. Техническим результатом изобретения является снижение загрязнений изделий. Плазменная горелка содержит наружную трубку из кварцевого стекла, окруженную индукционной катушкой, внутреннюю трубку из кварцевого стекла, среднюю трубку из кварцевого стекла, по меньшей мере, одну форсунку введения химических реагентов, находящуюся между первым и вторым кольцевыми дисками. Один конец трубок соединен с основанием. Второй конец наружной трубки соединен с первым кольцевым диском из кварцевого стекла, второй конец средней трубки соединен со вторым кольцевым диском из кварцевого стекла, а второй конец внутренней трубки ориентирован к подложке. 2 н. и 38 з.п. ф-лы, 1 табл., 7 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента