Изобретение относится к галлийоксид-цинкоксидной распыляемой мишени для получения прозрачной электропроводной пленки. Высокоплотная галлийоксид-цинкоксидная спеченная распыляемая мишень для формирования прозрачной электропроводной пленки содержит 20 млн-1 по массе или более каждого из оксида циркония и оксида алюминия, при этом общее содержание таковых составляет менее чем 250 млн-1, а величина объемного сопротивления мишени составляет 3,0 мОм·см или менее. Прозрачная электропроводная пленка сформирована на стеклянном субстрате путем напыления с использованием галлийоксид-цинкоксидной мишени. Пленка содержит оксид циркония и оксид алюминия, количество каждого из которых составляет 20 млн-1 по массе или более, а общее содержание - менее чем 250 млн-1. Способ формирования прозрачной электропроводной пленки включает проведение напыления с использованием галлийоксид-цинкоксидной мишени. Получается прозрачная электропроводная пленка, способная поддерживать предпочтительный коэффициент пропускания в оптической области и электрическую проводимость. 3 н. и 4 з.п. ф-лы, 1 табл.
Поиск патентов
Получить полное описание патента