Сафаралиев Г.К. Пленки и покрытия-2005. Труды 7-й международной конференции 24-26 мая 2005 года. - С.- Пб.: Изд-во Политехнического университета, 2005. RU 2113537 C1, 20.06.1998. RU 2158789 C1, 10.11.2000. SU 1716813 A1, 30.12.1993. SU 1415804 A1, 30.12.1993. WO 2007015572 A1, 08.02.2007. JP 2001181823 A, 03.07.2001. JP 2008021894 A, 31.01.2008.
Имя заявителя:
Общество с ограниченной ответственностью "АККОРД" (RU)
Общество с ограниченной ответственностью "АККОРД" (RU)
Реферат
Изобретение относится к технологии получения пленок нитрида алюминия. Сущность изобретения: в способе получения пленки нитрида алюминия на сапфировой подложке, включающем процесс осаждения на ее предварительно азотированную поверхность материала источника, испаренного электронно- лучевым испарителем, в качестве источника выбран высокочистый алюминий, пары которого в зоне, прилегающей к подложке, вступают в химическое взаимодействие с атомарным азотом, полученным из молекулярного азота путем расщепления его молекул в плазме высокочастотного разряда, и под воздействием направленного электрического поля осаждаются на поверхности сапфировой подложки. Изобретение позволяет получить монокристаллические пленки нитрида алюминия при низких темпетатурах (до 1200)°С на относительно дешевой сапфировой подложке диаметром до 100 мм. 2 н. и 1 з.п. ф-лы, 1 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента