Проспект продукции фирмы Micromash: "Cantilevers and test Structures" Catalogue Spring 2006, p.33. RU 2244254 C2, 10.01.2005. US 5825670 A, 20.10.1998. US 2003/058437 A1, 27.03.2003.
Имя заявителя:
ООО "Старт инноваций" (RU)
Изобретатели:
Яминский Дмитрий Игоревич (RU) Яминский Игорь Владимирович (RU)
Патентообладатели:
ООО "Старт инноваций" (RU)
Реферат
Изобретение относится к области сканирующей зондовой микроскопии и профилометрии и может быть использовано для калибровки профилометров и сканирующих зондовых микроскопов. Изобретение позволяет создать калибровочный эталон, устойчивый к процессам стирания, деградации, окисления и загрязнения рабочей поверхности эталона, устойчивый к многократной очистке поверхности эталона, а также распространить область применения эталона на субнанометровый диапазон измерений. Эталон позволяет проводить калибровку как перед процессом измерений, так и непосредственно в процессе измерений при исследовании установленного в профилометр или сканирующий зондовый микроскоп образца. Указанные преимущества достигаются тем, что в известном калибровочном эталоне для профилометров и сканирующих зондовых микроскопов, состоящем из пластины, пластина изготовлена из поляризованного пьезоэлектрического материала и к двум противоположным сторонам пластины прикреплено по электроду, соединенному с источником электрического напряжения постоянной амплитуды и полярности.
Поиск патентов
Получить полное описание патента