RU 2082257 C1, 20.06.1997. RU 2072644 C1, 27.01.1997. US 6909998 B2, 21.06.2005. KR 20050087010 А, 31.08.2005. US 2008160129 A1, 03.07.2008.
Имя заявителя:
Учреждение Российской академии наук Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова, РАН (RU)
Изобретатели:
Никитов Сергей Аполлонович (RU) Филимонов Юрий Александрович (RU) Высоцкий Сергей Львович (RU) Кожевников Александр Владимирович (RU) Хивинцев Юрий Владимирович (RU) Джумалиев Александр Сергеевич (RU) Никулин Юрий Васильевич (RU) Веселов Александр Георгиевич (RU)
Патентообладатели:
Учреждение Российской академии наук Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова, РАН (RU)
Реферат
Изобретение относится к технологии микроэлектроники и может быть использовано в технологии наноимпринт-литографии при получении упорядоченных массивов магнитных и других наноструктур. Изобретение направлено на обеспечение контроля за формированием рельефа без ограничений на оптические свойства подложек. Способ включает образование рельефа в слое резиста, нанесенного на подложку, методом наноимпринт-литографии с наложением на штамп возбуждающих ультразвуковых колебаний и осевого усилия. При этом дополнительно в подложке регистрируют ультразвуковые колебания, возникающие при контакте штампа с резистом, по интенсивности и/или фазе и/или спектру которых судят о степени заполнения резистом рельефа штампа. 6 з.п. ф-лы, 1 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента