US 4506815 A, 26.03.1985. SU 524231 A, 11.09.1978. SU 1763521 A1, 23.09.1992. SU 454284 A, 05.02.1975. SU 1513949 A1, 10.03.1995. WO 0192172 A1, 06.12.2001. EP 0323145 A1, 05.07.1989.
Изобретение относится к барботеру для обеспечения испаренного соединения в процесс химического осаждения из паровой фазы и может быть использовано при производстве полупроводников. Сборная конструкция камеры барботера содержит одну камеру или более камер, соединенных в ряды. Все камеры находятся по существу в вертикальной ориентации или под углом 45° от горизонтали. Твердый или жидкий источник соединения содержится в камере или камерах. Отношение между длиной камеры или объединенной длиной камер, соединенных в ряд, по отношению к направлению потока газа-носителя через камеру или камеры и средним диаметром, эквивалентным поперечному разрезу камеры или камер по отношению к направлению потока газа-носителя через камеру или камеры, составляет не менее чем приблизительно 6:1. В результате обеспечивается устойчивая и постоянная скорость доставки испаренного соединения при осаждении из паровой фазы. 18 з.п. ф-лы, 11 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента