SU 716995 А, 25.02.1980. RU 2070167 C1, 10.12.1996. WO 2008145575 A2, 04.12.2008. JP 11011956 A, 19.01.1999. JP 2003026433 A, 29.01.2003.
Имя заявителя:
Пивин Иван Федорович (RU)
Изобретатели:
Пивин Иван Федорович (RU)
Патентообладатели:
Пивин Иван Федорович (RU)
Реферат
Изобретение относится к металлургической технике и предназначено для использования при изготовлении тиглей путем высокотемпературного гидролиза тетрахлорида кремния. Технический результат изобретения заключается в увеличении количества осажденного на подложке синтезированного диоксида кремния с получением равномерной плотности напыленного тигля по его объему и уменьшении примесей. На поверхность вращающейся графитовой подложки в форме тигля осуществляют напыление диоксида кремния, получаемого пирогидролитическим разложением тетрахлорида кремния в присутствии мономолекулярной воды в пламени. Для формирования ламинарного пограничного слоя пламени после соприкосновения с напыляемой поверхностью траекторию движения продуктов сгорания при напылении корпуса тигля направляют через аэродинамический канал реактора. Канал реактора выполнен в виде продольной щели с одинаковым секционным разделением перегородками по высоте аэродинамического канала, причем при напылении днища тигля проходное сечение верхних секций аэродинамического канала перекрывают. 2 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента