RU 2278483 С2, 20.06.2006. RU 2252496 С2, 20.05.2005. RU 2206186 C2, 10.06.2003. WO 0197575 A1, 20.12.2001. WO 0101736 A1, 04.01.2001.
Имя заявителя:
Федеральное государственное предприятие "Государственный научный центр Российской Федерации Троицкий институт инновационных и термоядерных исследований" (ФГУП "ГНЦ РФ ТРИНИТИ") (RU)
Изобретатели:
Борисов Владимир Михайлович (RU) Прокофьев Александр Васильевич (RU) Христофоров Олег Борисович (RU)
Патентообладатели:
Федеральное государственное предприятие "Государственный научный центр Российской Федерации Троицкий институт инновационных и термоядерных исследований" (ФГУП "ГНЦ РФ ТРИНИТИ") (RU)
Реферат
Использование: для получения экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) излучения. Сущность: заключается в том, что мощный источник ЭУФ излучения с двумя жестко закрепленными на валу вращения дискообразными электродами содержит систему инициирования разряда в периферийной области межэлектродного зазора и устройство подачи плазмообразующего металла на один из электродов, являющийся инициирующим, выполненное в виде сосуда с легкоплавким металлом, причем электроды подключены посредством жидкометаллических скользящих контактов к источнику питания, который включает блок импульсной зарядки и блок конденсаторов, при этом сосуд с легкоплавким металлом изготовлен в виде соосной с электродами кольцевой ванны, а инициирующий электрод снабжен кольцевым выступом, погруженным в кольцевую ванну, в инициирующем электроде выполнены сквозные каналы, входы которых, обращенные к кольцевой ванне, примыкают к основанию выступа с его внутренней стороны, а выходы размещены перед рабочей зоной электрода, при этом диаметр окружности, вдоль которой размещены выходы каналов, меньше диаметра рабочей зоны инициирующего электрода, и диаметр внутренней поверхности выступа не превышает диаметра окружности, вдоль которой размещены выходы каналов. Технический результат: повышение энергетической стабильности источника и кпд ЭУФ излучения. 2 з.п. ф-лы, 1 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента