RU 2205905 C1, 10.06.2003. US 4681652 A, 21.07.1987. JP 2002241120 A, 28.08.2002. JP 6172092 A, 21.06.1994. JP 6172093 A, 21.06.1994.
Имя заявителя:
Федеральное государственное унитарное предприятие "ГОРНО-ХИМИЧЕСКИЙ КОМБИНАТ" (RU)
Изобретатели:
Гаврилов Петр Михайлович (RU) Бараков Борис Николаевич (RU) Прочанкин Александр Петрович (RU) Муравицкий Степан Александрович (RU)
Патентообладатели:
Федеральное государственное унитарное предприятие "ГОРНО-ХИМИЧЕСКИЙ КОМБИНАТ" (RU)
Реферат
Изобретение относится к производству полупроводниковых материалов, в частности к получению исходного поликристаллического кремния осаждением на нагретые стержни (основы) в процессе водородного восстановления хлорсиланов. Разъемный реактор 1 установки для получения стержней поликристаллического кремния содержит верхнюю неподвижную часть 2 с размещенными на ее верхней стенке по внутреннему и наружному рядам токовводами 6, 9, 13 с узлами крепления 7, 10, 14 U-образных основ 8, 11, 15, отделенную от нижней подвижной части горизонтальным разъемом, нижнюю подвижную часть реактора, разделенную дополнительным горизонтальным разъемом на обечайку 4 и донную часть 5, снабженную патрубками ввода парогазовой смеси хлорсиланов и водорода. Верхняя неподвижная часть 2 реактора 1 снабжена тридцатью токовводами с узлами крепления пятнадцати U-образных основ, причем два центральных токоввода 6 расположены на горизонтальной оси реактора симметрично относительно его центра, десять токовводов 9 расположены по окружности внутреннего рядя и восемнадцать токовводов 13 расположены по двум окружностям разных диаметров во внешнем ряду, причем один из токовводов каждой U-образной основы внешнего ряда расположен по окружности меньшего диаметра, смещенной к центральной зоне реактора, при этом в донной части реактора установлены семь патрубков ввода парогазовой смеси хлорсиланов и водорода, два из которых расположены на его вертикальной оси, каждый на расстоянии от центра, равном половине радиуса окружности внутреннего ряда, а пять патрубков расположены в точках пересечения радиусов, проходящих симметрично между проекциями на донную часть смежных пар токовводов внутреннего ряда, с окружностью, расположенной между проекциями на донную часть окружностей внутреннего и внешнего рядов, смещенной к центральной зоне реактора. Изобретение позволяет повысить производительность реактора путем увеличения коэффициента прямого извлечения кремния из хлорсиланов в водородной среде за счет повышения количества и плотности размещения в центральной зоне разъемного реактора U-образных кремниевых основ с их узлами крепления к соответствующим токовводам и обеспечения поступления свежей парогазовой смеси к выращиваемым стержням, размещенным с повышенной плотностью в центральной зоне реактора и во внешнем ряду. 3 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента