Промышленная Сибирь Ярмарка Сибири Промышленность СФО Электронные торги НОУ-ХАУ Электронные магазины Выставки Бизнес Карта сайта
 
 

Поиск патентов

Как искать?
Реферат
Название
Публикация
Регистрационный номер
Имя заявителя
Имя изобретателя
Имя патентообладателя

    





Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»


УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫРАЩИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ МЕТОДОМ ЧОХРАЛЬСКОГО

Номер публикации патента: 2382121

Вид документа: C1 
Страна публикации: RU 
Рег. номер заявки: 2008147553/15 
  Сделать заказПолучить полное описание патента

Редакция МПК: 
Основные коды МПК: C30B015/14   C30B029/06    
Аналоги изобретения: RU 2231582 C1, 27.06.2004. US 6197111 B1, 06.03.2001. US 6338757 B1, 15.01.2002. JP 64061382 A, 08.03.1989. 

Имя заявителя: Институт химических проблем микроэлектроники (ИХПМ) (RU) 
Изобретатели: Простомолотов Анатолий Иванович (RU)
Верезуб Наталия Анатольевна (RU)
Жвирблянский Вилен Юльевич (RU)
Мильвидский Михаил Григорьевич (RU) 
Патентообладатели: Институт химических проблем микроэлектроники (ИХПМ) (RU) 

Реферат


Изобретение относится к области получения монокристаллов кремния. Устройство включает камеру 1 выращивания монокристалла 22 с расположенным в ней тиглем 4 для получения расплава, средство вытягивания из расплава монокристалла кремния и экранирующее приспособление, расположенное соосно выращиваемому монокристаллу 22, выполненное в виде двойного экрана - внутреннего 15 и внешнего 16, при этом внешний экран 16 имеет форму, повторяющую или близкую к форме кварцевого тигля 4, а внутренний 15 - форму усеченного конуса, обращенного малым основанием к расплаву. Экранирующее приспособление снабжено вторым коническим экраном 9. размещенным внутри первого 15 и коаксиально ему, с зазором между ними для обеспечения возможности прохода газа через зазор к стенкам камеры, верхний край второго конического экрана 9 соединен с кольцом 10, под которым размещен водоохлаждаемый экран 12, внутренняя полость которого соединена трубками для подвода и отвода воды, а экран 16, повторяющий форму тигля, соединен с боковым цилиндрическим теплоизолирующим экраном. Водоохлаждаемый экран 12 выполнен в виде полого цилиндра, имеющего в стенках полость прямоугольного сечения, которая снабжена трубками для подвода и отвода воды. Верхняя часть бокового теплоизолирующего экрана выполнена в виде набора колец 20. Пространство между первым коническим экраном 15 и экраном 16, повторяющим форму тигля, заполнено теплоизолирующим материалом 17, например графитовым войлоком. Боковой теплоизолирующий экран снабжен отверстиями для прохода газа к боковым стенкам камеры выращивания. Изобретение направлено на повышение структурного совершенства выращиваемых бездислокационных монокристаллов кремния при одновременном снижении энергозатрат на их производство. 5 з.п. ф-лы, 1 ил.

Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.222
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь
Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"