US 2007077191 А1, 05.04.2007. RU 2154606 С2, 20.08.2000. JP 1176211 А, 12.07.1989. ЕР 0459421 А1, 04.12.1991. US 4097584 А, 27.06.1978. ЕР 0274283 А1, 13.07.1988.
Имя заявителя:
Кравцов Анатолий Александрович (RU)
Изобретатели:
Кравцов Анатолий Александрович (RU)
Патентообладатели:
Кравцов Анатолий Александрович (RU)
Реферат
Изобретение относится к способу вакуумной очистки кремния от примесей. Способ включает расплавление кремния в тигле с использованием электронно-лучевого нагрева, выдержку расплава для испарения примесей и охлаждение с получением очищенного кремния. При этом расплавление ведут в кварцевом тигле. После расплавления проводят выдержку расплава при интенсивном теплоотводе от наружной части стенки тигля на уровне поверхности расплава и при нагреве электронным лучом, сконцентрированным на минимальной площади, преимущественно, центральной части поверхности расплава кремния. От наружной части стенки тигля отводят не менее 50% тепла от тепла, подводимого электронным лучом. Со стороны пода тигля осуществляют дополнительную подачу тепла. Техническим результатом изобретения является повышение скорости очистки кремния. 2 з.п. ф-лы, 1 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента