RU 2019889 С1, 15.09.1994. SU 1461319 А1, 20.11.2005. SU 1530020 А1, 10.11.1999. SU 535629 А1, 15.11.1976.
Имя заявителя:
Федеральное государственное унитарное предприятие "Федеральный научно-производственный центр по радиоэлектронным системам и информационным технологиям имени В.И. Шимко" (ФГУП "Федеральный НПЦ "Радиоэлектроника" им. В.И. Шимко") (RU)
Изобретатели:
Пирогов Геннадий Григорьевич (RU)
Патентообладатели:
Федеральное государственное унитарное предприятие "Федеральный научно-производственный центр по радиоэлектронным системам и информационным технологиям имени В.И. Шимко" (ФГУП "Федеральный НПЦ "Радиоэлектроника" им. В.И. Шимко") (RU)
Реферат
Изобретение относится к технологии нанесения покрытий и может быть использовано в качестве приспособления для закрепления пластинчатых деталей в технологическом оборудовании при нанесении на пластинах различных покрытий и тонких пленок, например на подложках полупроводниковых элементов. Техническим результатом является возможность нанесения покрытия на обе стороны пластины как на вакуумных, так и в объемных установках. Приспособление для закрепления пластины содержит основание и установленные на нем держатели в виде пружинистой скобы, прижимное плечо которых наклонено в плоскости держателя с дополнительным изгибом на конце, для чего в основании выполнены паз и отверстие, которые геометрическими осями расположены в плоскости держателя, последний прижимным плечом размещен в пазу и пружинит относительно опорного плеча, размещенного в отверстии, на конце которого выполнен изгиб для закрепления держателя в отверстии основания. Дополнительный изгиб на конце прижимного плеча выполнен в плоскости держателя в сторону, противоположную наклону прижимного плеча, с возможностью отжима его торцом пластины при укладке ее на основание. Держатель изготовлен из пружинной проволоки или из пружинной пластины. 18 з.п. ф-лы, 13 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента