Изобретение относится к распыляемым мишеням высокой плотности из спеченного изделия на основе серий оксид галлия-оксид цинка. Мишень содержит 20-2000 млн.д. мас., оксида циркония и имеет объемное сопротивление 3,0 м·см или менее. Способ формирования прозрачной проводящей пленки осуществляют путем распыления указанной мишени. Прозрачная проводящая пленка, сформированная на подложке путем распыления указанной мишени, имеет удельное сопротивление 5,0 м·см или менее. Технический результат - повышение проводимости и объемной плотности мишени после спекания, предотвращение образования наростов и аномальных электрических разрядов. 3 н. и 4 з.п. ф-лы, 3 ил., 3 табл.
Поиск патентов
Получить полное описание патента