ИНСТИТУТ ПРОБЛЕМ МАШИНОВЕДЕНИЯ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК (RU)
Реферат
Изобретение предназначено для повышения экономической эффективности процесса откачки и скорости достижения задаваемой степени разрежения в рабочем объеме вакуумной камеры и может быть использовано для нанесения покрытий в вакууме, для удаления поверхностных загрязнений на изделиях при вакуумно-дуговой очистке. Вакуумное устройство содержит вакуумную камеру и пристыкованные к ней открытые входную и выходную шлюзовые системы щелевого типа, состоящие из щелевых каналов, разделенных шлюзовыми камерами с откачными патрубками. Максимальная скорость откачки при оптимальных давлениях в шлюзовых камерах обеспечивается за счет того, что для варианта выполнения устройства с однокамерной шлюзовой системой длиной L расстояние от входа в шлюз со стороны атмосферы до шлюзовой камеры равно l1=(2/3)L, а расстояние от шлюзовой камеры до вакуумной камеры равно l2=(1/3)L. Для варианта с двухкамерной шлюзовой системой длиной L расстояние от входа в шлюз со стороны атмосферы до первой шлюзовой камеры равно l1=(4/7)L, расстояние между первой и второй шлюзовой камерами равно l2=(2/7)L, а расстояние от второй шлюзовой камеры до вакуумной камеры равно l3=(1/7)L. 2 н.п. ф-лы, 2 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента