

	Главная Патентный отдел Технологии Справочник ГРНТИ Прием Наши координаты Обратная связь

Поиск патентов

Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

Патентный отдел

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

РАСТВОР ДЛЯ ОБРАБОТКИ КАРБИД - КРЕМНИЕВОЙ ТРУБЫ

Номер публикации патента: 2377690

Вид документа:	C1
Страна публикации:	RU
Рег. номер заявки:	2008129549/28

Получить полное описание патента

Редакция МПК:	6
Основные коды МПК:	H01L021/306
Аналоги изобретения:	А.И.КУРНОСОВ. Материалы для полупроводниковых приборов и интегральных схем. - М.: «Высшая школа», 1980, с.88-89. SU 593646 А, 25.01.1978. RU 2060935 C1, 27.05.1996. JP 5017229 A, 26.01.1993. JP 5518622 A, 10.12.1980. JP 60258918 A, 20.12.1985. JP 60138915 A, 23.07.1985. US 6375752 B1, 23.04.2002.

Имя заявителя:	ГОСУДАРСТВЕННОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ "ДАГЕСТАНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ" (ДГТУ) (RU)
Изобретатели:	Исмаилов Тагир Абдурашидович (RU) Шангереева Бийке Алиевна (RU) Шахмаева Айшат Расуловна (RU)
Патентообладатели:	ГОСУДАРСТВЕННОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ "ДАГЕСТАНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ" (ДГТУ) (RU)

Реферат

Изобретение относится к технологии изготовления силовых кремниевых транзисторов, в частности к способам обработки карбид-кремниевой трубы, применяемой для проведения высокотемпературных процессов в диффузионных печах. Техническим результатом изобретения является полное удаление различных примесей и загрязнений. Сущность изобретения: удаление загрязнений с карбид-кремниевой трубы происходит за счет использования раствора, в состав которого входят фтористоводородная кислота - HF, соляная кислота - НСl и деионизованная вода - Н₂О в соотношении 1:1:3,5. Длительность обработки составляет 20±5 минут. По окончании обработки трубу промывают в деионизованной воде при комнатной температуре и времени, равном 30±5 минут. Качество обработки определяется с помощью индикаторной бумаги.

Вернуться к списку

Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь

Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"