СЕРГЕЕВ В.П. и др. Установка вакуумноплазменного напыления теплоотражающих покрытий на архитектурное стекло. "Пленки и покрытия 98": Труды 5-й международной конференции. - СПб.: Полиплазма, 1998, с.232-235. RU 2308538 C1, 20.10.2007. RU 43549 U1, 27.01.2005. RU 215242 C2, 27.08.2000. US 5525199 A, 11.06.1996. US 6413380 B1, 02.07.2002.
Имя заявителя:
Гончаров Виталий Степанович (RU)
Изобретатели:
Гончаров Максим Витальевич (RU) Гончаров Виталий Степанович (RU)
Патентообладатели:
Гончаров Виталий Степанович (RU)
Реферат
Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано для нанесения комплексных многокомпонентных покрытий на поверхности деталей. Установка содержит вакуумируемую камеру с загрузочным люком, вакуумную систему, устройства для ионно-плазменного и магнетронного напыления и размещенное в камере устройство для фиксации и вращения обрабатываемой детали. Внутри камеры расположен механизм закрепления и перемещения горелки для плазменного или газопламенного напыления или сопла для дробеструйной обработки. При этом катодные узлы устройств для ионно-плазменного и магнетронного напыления размещены друг над другом равномерно по восходящей спирали, причем расстояние L по вертикали и по горизонтали между геометрическими осями соседних катодных узлов выбрано из условия L=0,80,95(r1+r2), где r1 и r2 - радиусы следов пучков плазмы на поверхности обрабатываемой детали, генерируемой соседними катодными узлами. Технический результат - повышение качества и производительности процесса нанесения покрытий. 4 з.п. ф-лы, 4 ил.