ЗЕЛИКМАН А.Н., НИКИТИНА Л.С. Вольфрам. - М.: Металлургия, 1978, с.196-201. RU 2263721 С2, 10.11.2005. GB 2178059 А, 04.02.1987. US 5722034 А, 24.02.1998. WO 02/052051 A3, 04.07.2002. US 5224534 A, 06.07.1993.
Имя заявителя:
Глебовский Вадим Георгиевич (RU)
Изобретатели:
Глебовский Вадим Георгиевич (RU) Сидоров Николай Сергеевич (RU)
Патентообладатели:
Глебовский Вадим Георгиевич (RU)
Реферат
Изобретение относится к получению высокочистого вольфрама для распыляемых мишеней. Способ включает очистку раствора паравольфрамата аммония от примесей сульфидом аммония и последующую очистку раствора ионным обменом на анионите АМ-п. Затем ведут термическое разложение паравольфрамата аммония при температуре 600-800°С до получения трехокиси вольфрама и очистку трехокиси вольфрама зонной сублимациией при температуре 900-950°С в постоянном потоке кислорода. После сублимации ведут гетерогенное восстановление водородом при температуре 700-750°С трехокиси вольфрама до образования порошка вольфрама и прессование порошка вольфрама до получения прутка. Затем ведут электронную вакуумную зонную перекристаллизацию прутка до получения кристаллов высокочистого вольфрама и электронную вакуумную плавку в плоском кристаллизаторе с проплавлением плоского слитка с каждой стороны на всю глубину не менее двух раз. Предлагается также устройство для зонной сублимации трехокиси вольфрама. Техническим результатом является резкое повышение чистоты вольфрама, предназначенного для тонкопленочной металлизации магнетронным распылением мишеней. 2 н.п. ф-лы, 2 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента