ЗЕЛИКМАН А.Н. Металлургия тугоплавких металлов. - М.: Металлургия, 1986, с.214-216. RU 2263721 С2, 10.11.2005. RU 2116969 C1, 10.08.1998. GB 2178059 A, 04.02.1987. US 5722034 A, 24.02.1998. WO 02/052051 A3, 04.07.2002. US 5224534 A, 06.07.1993.
Имя заявителя:
Глебовский Вадим Георгиевич (RU)
Изобретатели:
Глебовский Вадим Георгиевич (RU) Сидоров Николай Сергеевич (RU)
Патентообладатели:
Глебовский Вадим Георгиевич (RU)
Реферат
Изобретение относится к получению высокочистого молибдена для распыляемых мишеней. Способ включает очистку парамолибдата аммония в виде раствора от примесей ионным обменом в нейтральных и слабощелочных средах на гидратированном оксиде олова и на слабоосновном анионите АН-106. Затем ведут термическое разложение парамолибдата аммония при температуре 600-800°С до получения оксида молибдена и очистку оксида молибдена зонной сублимацией при температуре 750-800°С в постоянном потоке кислорода. После очистки проводят гетерогенное восстановление оксида молибдена водородом при температуре 700-750°С до образования порошка молибдена и прессование его до получения прутка. Затем осуществляют электронную вакуумную зонную перекристаллизацию прессованных прутков до получения кристаллов высокочистого молибдена и электронную вакуумную плавку в плоском кристаллизаторе с проплавлением плоских слитков высокочистого молибдена с каждой стороны на всю глубину не менее двух раз. Предлагается также устройство для очистки оксида молибдена зонной сублимацией. Техническим результатом является резкое повышение чистоты молибдена, предназначенного для тонкопленочной металлизации магнетронным распылением мишеней, поскольку чистота молибдена в значительной мере определяет электрофизические параметры наносимых тонких слоев. 2 н.п. ф-лы, 2 ил., 1 табл.
Поиск патентов
Получить полное описание патента