RU 2016915 C1, 30.07.1994. RU 1225282 С, 20.10.1995. SU 1795985 A3, 15.02.1993. SU 929738 А, 26.05.1982. JP 02-302491 А, 14.12.1990.
Имя заявителя:
Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Исток" (ФГУП НПП "Исток") (RU)
Изобретатели:
Пономарева Зинаида Ивановна (RU) Онуфриева Елена Владимировна (RU) Никонова Ирина Александровна (RU)
Патентообладатели:
Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Исток" (ФГУП НПП "Исток") (RU)
Реферат
Изобретение относится к изготовлению прецизионных изделий из молибдена и его сплавов с заданными геометрическими параметрами. Способ включает предварительную обработку поверхности исходного материала в обезжиривающем органическом растворителе, дальнейшую последовательную обработку в обезжиривающем щелочном растворе и водном растворе кислот при температуре 50-60°С и 18-25°С в течение 30-40 минут и 0,5-1 минуты соответственно с последующей сушкой в безкислородной атмосфере, формирование на поверхности фоторезистивной маски с использованием позитивного фоторезиста с кинематической вязкостью, равной 6-6,5 мм2/с, при этом его задубливание ведут при температуре 190-210°С в течение 40-50 минут, и последующее травление исходного материала в растворе для фотохимического травления при температуре 50-60°С до получения заданных геометрических параметров. Раствор для фотохимического травления изделий из молибдена и его сплавов содержит водную смесь кислот и специальных добавок при следующем соотношении компонентов, об.%: азотная кислота 25-30, ортофосфорная кислота 30-40, уксусная кислота 10-15, фтористый аммоний 2-5, молибденовокислый аммоний 1-3, вода - остальное. Способ позволяет повысить точность воспроизводимости заданных геометрических параметров и выход годных изделий. 2 н. и 2 з.п. ф-лы, 1 ил., 1 табл.
Поиск патентов
Получить полное описание патента