E.M.Oks et all. Rev. Sci. Instrum. 1998, v.69(2), p.853. RU 2240627 С1, 20.11.2004. SU 1598757 А1, 27.07.1996. JP 2007311118 А, 29.11.2007. JP 4144048 А, 18.05.1992.
Имя заявителя:
Институт электрофизики Уральского отделения РАН (RU)
Изобретатели:
Гаврилов Николай Васильевич (RU) Буреев Олег Александрович (RU) Емлин Даниил Рафаилович (RU)
Патентообладатели:
Институт электрофизики Уральского отделения РАН (RU)
Реферат
Изобретение относится к плазменной технике, а именно генерации ионных пучков с большим поперечным сечением. Источник широкоапертурных ионных пучков содержит плазменный катод на основе тлеющего разряда, электродная система которого включает полый катод 1, поджигающий электрод 2 и анодную сетку 3, установленную напротив выходной апертуры полого катода, и плазменную камеру, в состав которой входят стержневой анод 4 и полый цилиндрический эмиттерный электрод 5 с отверстиями, предназначенными для извлечения ионов, электрически соединенный с анодной сеткой 3 и находящийся под отрицательным потенциалом относительно стержневого анода. Эффективная ионизация газа и генерация плотной плазмы обеспечиваются при определенном соотношении площадей стержневого анода и полого эмиттерного электрода, величина которого зависит от среднего числа ионизаций, совершаемых инжектированным быстрым электроном. Отбор ионов из плазмы производится через отверстия в полом цилиндрическом эмиттерном электроде. Диаметр анодной сетки выбирается близким к диаметру полого эмиттерного электрода. Анодная сетка устанавливается на расстоянии от выходной апертуры полого катода, примерно равном ее диаметру. Стержневой анод размещается на противоположном от анодной сетки торце полого цилиндрического эмиттерного электрода, в котором имеется одно или несколько отверстий для подачи рабочего газа, а отверстия, предназначенные для извлечения ионов, располагаются на боковой поверхности полого эмиттерного электрода. Технический результат - формирование протяженных ленточных пучков и радиально расходящихся пучков с равномерным распределением плотности ионного тока в поперечном сечении пучков. 2 з.п. ф-лы, 4 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента