QINGRUN В., JU G., JINYI W., JI'AN С., Carbon Film Coating Used in CdZnTe Cristal Growth, Rare Metals, 1997, Vol.16, 2, p.114-116. SU 425862 A1, 30.04.1974. US 4592924 A, 03.06.1986. WO 2007047783 A1, 26.04.2007. CN 1962933 A, 16.05.2007. CN 1188159 A, 22.07.1998. CN 1043690 A, 11.07.1990. JP 2003-192391 A, 09.07.2003.
Имя заявителя:
Открытое акционерное общество "Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности "ГИРЕДМЕТ" (RU)
Изобретатели:
Аверичкин Павел Андреевич (RU) Левонович Борис Наумович (RU) Пархоменко Юрий Николаевич (RU) Шлёнский Алексей Александрович (RU) Шматов Николай Николаевич (RU)
Патентообладатели:
Открытое акционерное общество "Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности "ГИРЕДМЕТ" (RU)
Реферат
Изобретение может быть использовано для изготовления кварцевых контейнеров с защитным покрытием для высокотемпературных процессов. В качестве исходного углеродсодержащего соединения используют органосиланы с атомным соотношением кремния и углерода, равным 1,0:(1,0÷4,0). Формирование покрытий осуществляют последовательным, многократным чередованием процессов смачивания поверхности контейнера органосиланами, высушивания ее при нормальных условиях с получением пленки полимера и отжига. Первый отжиг осажденной полимерной пленки проводят в окислительной атмосфере при 450-650°С в течение 20-30 минут, а второй и последующие отжиги осажденных полимерных пленок на сформированное оксидное покрытие проводят в инертной атмосфере при 700÷800°С в течение 30-60 минут. Изобретение позволяет улучшить качество защитных покрытий на кварцевых поверхностях контейнеров за счет повышения их плотности и прочности, обеспечивающих предотвращение взаимодействия расплавленного материала с рабочими стенками контейнера любой формы и уменьшение загрязнения получаемого материала диффундирующими примесями химических элементов из кварца. 2 табл.
Поиск патентов
Получить полное описание патента