Y. Shingaya at all. «Carbon nanotube tip for scanning tunneling microscopy». Physica, B, 323 (2002), p.153-155. RU 2266574 C2, 20.12.2005. RU 2218299 C1, 10.12.2003. RU 2251071 C2, 27.04.2005. RU 2308414 C1, 20.10.2007. US 2008/0067407 A1, 20.03.2008.
Имя заявителя:
Московский инженерно-физический институт (Государственный университет) (RU)
Изобретатели:
Антоненко Сергей Васильевич (RU) Малиновская Ольга Сергеевна (RU)
Патентообладатели:
Московский инженерно-физический институт (Государственный университет) (RU)
Реферат
Изобретение относится к области вакуумной техники и технологии получения углеродных наноструктур, таких как углеродные нанонотрубки на кончике зондов, которые применяются в зондовой микроскопии для прецизионного сканирования. Способ получения зондов с углеродными нанотрубками осуществляется путем нанесения углеродных пленок с нанотрубками методом магнетронного распыления в вакууме при постоянном токе 100-140 мА с использованием мишени из углерода с катализатором роста нанотрубок. Заготовки зондов помещают в вакуумную установку. Далее проводится напыление углеродной пленки с нанотрубками в остаточной атмосфере инертного газа. Изобретение позволяет получать зонды с углеродными нанотрубками, расположенными перпендикулярно поверхности зонда, в необходимых количествах, без использования взрывоопасных веществ и сложных установок. 6 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента