ЕР 0878565 A1, 18.11.1998. WO 9826108 A1, 18.06.1998. JP 09-125247 A, 13.05.1997. RU 2161662 C2, 10.01.2001.
Имя заявителя:
АРСЕЛОРМИТТАЛЬ ФРАНС (FR)
Изобретатели:
КОРНИЛЬ Юг (BE) ДЕВЕЕР Бенуа (BE) МАБОГ Клод (BE) МОТТУЛЬ Жак (BE)
Патентообладатели:
АРСЕЛОРМИТТАЛЬ ФРАНС (FR)
Приоритетные данные:
07.11.2005 EP 05292354.7
Реферат
Изобретение относится к способу травления магнетронным распылением в вакуумной камере (2) металлической полосы (4), движущейся на опорном валке (3) напротив противоэлектрода (5). В газе вблизи металлической полосы (4) создают плазму, с тем чтобы образовывались радикалы и/или ионы, действующие на эту полосу (4), и выбирают, по меньшей мере, одну замкнутую магнитную цепь (7), ширина которой, по существу, равна ширине металлической полосы (4), из группы, по меньшей мере, из двух замкнутых магнитных цепей (7) разной и фиксированной ширины, затем выбранную магнитную цепь (7) перемещают для ее позиционирования напротив металлической полосы (4) и производят травление движущейся металлической полосы (4). Технический результат - равномерная обработка всей поверхности без повреждения опорного валка. 2 н. и 19 з.п. ф-лы, 2 ил.