RU 2185599 С1, 20.07.2002. RU 2263879 С2, 10.11.2005. WO 02075244 A1, 26.09.2002. EP 1190213 A1, 27.03.2002. RU 2242714 C2, 20.12.2004. JP 59210311 A, 29.11.1984.
Имя заявителя:
Закрытое акционерное общество "Научные приборы" (RU), Войсковая часть 68240 (RU)
Изобретатели:
Фетисов Андрей Александрович (RU) Богданов Владимир Михайлович (RU) Дубров Андрей Юрьевич (RU) Касьян Владимир Сергеевич (RU) Лунёв Олег Святославович (RU) Готлиб Владимир Абович (RU) Владимиров Федор Львович (RU) Елохин Владимир Александрович (RU) Протопопов Сергей Викторович (RU) Соколов Валерий Николаевич (RU)
Патентообладатели:
Закрытое акционерное общество "Научные приборы" (RU) Войсковая часть 68240 (RU)
Реферат
Способ контроля рельефа поверхности включает размещение контролируемого изделия на предметном столе, направление на поверхность изделия светового излучения под заданным углом освещения, прием отраженного от поверхности изделия светового излучения, регистрацию и измерение характеристик отраженного от поверхности излучения. Поверхность изделия освещают наклонно падающим пучком светового излучения последовательно при разных азимутальных углах. Производят прием диффузно отраженного светового излучения вдоль заданных азимутов и регистрируют распределение его интенсивности с получением характеристического изображения поверхности изделия. Производят суперпозицию всех характеристических изображений поверхности изделия, полученных при разных азимутальных углах. Причем каждое характеристическое изображение поверхности изделия смещают вдоль соответствующего азимута в заданном направлении по отношению к источнику падающего светового излучения на заданное расстояние. Затем суммируют интенсивности диффузно отраженного светового излучения для всех характеристических изображений в одноименных точках поверхности с получением результирующего характеристического изображения, по которому судят о рельефе поверхности. Технический результат - расширение функциональных возможностей за счет повышения чувствительности при обнаружении микрорельефа и выявлении давленых изображений. 10 з.п. ф-лы, 4 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента